多重周回飛行時間型2次中性粒子質量分析装置
(MULTUM-SNMS)

角礫化した鉱物など、サブミクロンスケールの微細な試料に対し、直径1μm以下のイオンビームを照射し、試料からスパッタされる中性粒子を高出力レーザーでポストイオン化します。局所同位体分析で一般的に用いられるSIMSを、高感度化・高空間分解化することを目指し開発を進めています。

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走査型電子顕微鏡 (SEM) /
エネルギー分散型X線分析装置 (EDS)

電子線の照射により放出される2次電子や反射電子を検出し、試料の凹凸像や組成像を得ます。同時に、EDSを使用することで、放出される特性X線から試料の元素分析を行うこともできます。

• SEM : JSM-6010A (JEOL), 他2台
• EDS : NORAN™ System 7 (Thermo Scientific)