高感度高分解能イオンマイクロプローブ
(SHRIMP IIe)

ミクロンサイズに絞った一次イオンビームを試料に照射し、スパッタされた二次イオンを高い質量分解能のもと分析する装置です。微小領域の高精度元素存在度・同位体比分析を得意としており、主に岩石の高精度年代測定に使用します。2025年3月に大阪大学に移設し、さらなる高精度分析法の確立に向け、装置の立ち上げ、改良に取り組んでいます。

多重周回飛行時間型2次中性粒子質量分析装置
(MULTUM-SNMS)

角礫化した鉱物など、サブミクロンスケールの微細な試料に対し、直径1μm以下のイオンビームを照射し、試料からスパッタされる中性粒子を高出力レーザーでポストイオン化します。局所同位体分析で一般的に用いられるSIMSを、高感度化・高空間分解化することを目指し開発を進めています。

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走査型電子顕微鏡 (SEM) /
エネルギー分散型X線分析装置 (EDS)

電子線の照射により放出される2次電子や反射電子を検出し、試料の凹凸像や組成像を得ます。同時に、EDSを使用することで、放出される特性X線から試料の元素分析を行うこともできます。

• SEM : JSM-6010A (JEOL), 他2台
• EDS : NORAN™ System 7 (Thermo Scientific)